Modelling of precursors for electron-beam induced deposition

Abstract

1 Abstract FEBID (focused electron beam induced deposition) precursors are a subject of active research both in experimental and computer simulation manners. Their potential use in FEBID is strongly dependent on the completeness of the disso- ciation process caused by both primary and secondary electrons of the electron beam. This work focuses on exploration of dissociation process of iron pentacar- bonyl cation by secondary electrons in i) vacuum ii) argon cluster environment and on possibility of utilizing argon cluster with an embedded gold particle as a non-covalently bonded precursor for FEBID. These systems will be inspected via means of the classical and reactive molecular dynamics using the rCHARMM force field. 1

1 Abstract Prekurzory FEBIDu (indukovaná depozice fokusovaným elektronovým paprskem) jsou subjektem aktivního výzkumu - experimentálního i záležitostí simulací. Je- jich potenciální využití ve FEBIDu je silně závislé na úplnosti disociačního pro- cesu způsobeného svazkem jak primárních, tak sekundárních elektronů. Tato práce se zaměřuje na zkoumání disociačních procesů kationtu pentakarbonylu železa skrz srážky se sekundárním elektronem i) ve vákuu ii) na argonovém klas- tru a taky objasňuje možnost využít argonový klastr s částicí zlata uvnitř jako nekovalentně vázaný prekurzor pro FEBID. Tyto systémy budou zkoumány po- mocí klasické i reaktivní molekulární dynamiky použitím rCHARMM silového pole. 1