Sondová diagnostika impulzně generovaného plazmatu
Probe diagnostics of the pulse-generated plasma
bakalářská práce (OBHÁJENO)

Zobrazit/otevřít
Trvalý odkaz
http://hdl.handle.net/20.500.11956/101877Identifikátory
SIS: 189978
Kolekce
- Kvalifikační práce [11330]
Autor
Vedoucí práce
Konzultant práce
Kudrna, Pavel
Oponent práce
Kaňka, Adolf
Fakulta / součást
Matematicko-fyzikální fakulta
Obor
Obecná fyzika
Katedra / ústav / klinika
Katedra fyziky povrchů a plazmatu
Datum obhajoby
13. 9. 2018
Nakladatel
Univerzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakultaJazyk
Čeština
Známka
Výborně
Klíčová slova (česky)
Langmuirova sonda, Magnetron, Dutá katoda, HiPIMSKlíčová slova (anglicky)
Langmuir probe, Planar magnetron, Hollow cathode, HiPIMSPředmětem bakalářské práce je diagnostika plazmatu v systému s magnetronem a s dutou katodou pracujícím v impulsním režimu, kdy je plazma generováno impulzy stejnosměrného napětí. Použitou diagnostickou metodou bude Langmuirova sonda. Cílem práce je konstrukce elektronického měřicího systému řízeného počítačem, a ověření jeho funkce při měření parametrů plazmatu argonového výboje v obou systémech s časovým rozlišením, tj. v závislosti na čase během jedné impulsní periody.
The subject of the bachelor thesis is the plasma diagnostics in the planar magnetron and in the hollow cathode system operating in the pulse mode, when the plasma is generated by DC pulses. The diagnostics method used will be the Langmuir probe. The aim of the thesis is the construction of the computer-controlled electronic measuring system and its assessment when measuring the parameters of argon discharge plasma in both systems with time resolution i.e. depending on time during one pulse period.